Phân loại phòng sạch
Thông thường có một số tiêu chuẩn chung và mức độ tương ứng để phân loại nhà xưởng không bụi:
Tiêu chuẩn của Tổ chức Tiêu chuẩn hóa Quốc tế (ISO)
ISO Grade 1: Số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trong mỗi mét khối không khí không vượt quá 10. Nó chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp vi điện tử để sản xuất mạch tích hợp và các lĩnh vực khác có yêu cầu về độ sạch cực cao. Yêu cầu về độ chính xác đối với mạch tích hợp là cấp độ dưới micron.
Tiêu chuẩn ISO loại 3: Số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trên một mét khối không khí không vượt quá 1000, thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn với băng thông nhỏ hơn 2 micron.
Mức ISO 5: Tương đương với xưởng không bụi Cấp độ 100, số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trên một mét khối không khí không vượt quá 10.000 và số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,5μm trên một mét khối không khí không vượt quá 1.000. Nó có thể được sử dụng trong các quy trình sản xuất vô trùng trong ngành dược phẩm, các hoạt động phẫu thuật cấy ghép, sản xuất thiết bị tích hợp và điều trị cách ly cho bệnh nhân ghép tủy xương sau phẫu thuật.
Tiêu chuẩn ISO cấp 6: Tương đương với xưởng không bụi cấp 1000, số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trong mỗi mét khối không khí không vượt quá 100.000. Chủ yếu được sử dụng để sản xuất các sản phẩm quang học chất lượng cao, lắp ráp con quay hồi chuyển của máy bay, v.v.
Tiêu chuẩn ISO cấp 7: Nhà xưởng không bụi cấp 10.000, số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trong mỗi mét khối không khí không vượt quá 1.000.000. Được sử dụng để lắp ráp thiết bị thủy lực hoặc khí nén, ngành thực phẩm và đồ uống, ngành dược phẩm, v.v.
ISO 8 và ISO 9: Tương ứng với xưởng không bụi cấp 100.000, số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trong mỗi mét khối không khí ở ISO 8 không vượt quá 10.000.000 và số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trong mỗi mét khối không khí ở ISO 9 không vượt quá 100.000.000. Chúng được sử dụng để sản xuất sản phẩm quang học, sản xuất linh kiện nhỏ, hệ thống điện tử lớn, sản xuất thực phẩm và đồ uống, v.v.
Mức độ phòng sạch
Tiêu chuẩn liên bang Hoa Kỳ 209E
Mức 1: Số lượng các hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trên một feet khối không khí không vượt quá 35, thường được sử dụng trong các lĩnh vực cực kỳ cao cấp như sản xuất VLSI.
Mức 10: Số lượng các hạt lớn hơn hoặc bằng 0,1μm trong mỗi feet khối không khí không vượt quá 350. Chủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp có yêu cầu cực kỳ cao về kiểm soát hạt, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn.
Lớp 100: Số lượng các hạt lớn hơn hoặc bằng 0,5μm trong mỗi feet khối không khí không vượt quá 100. Được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực sản xuất dược phẩm vô trùng, sản xuất dụng cụ có độ chính xác cao, v.v.
Cấp độ 1000: Số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,5μm trong mỗi feet khối không khí không vượt quá 1000. Phù hợp cho những công việc có yêu cầu vệ sinh cao như mài và lắp ráp thấu kính quang học.
Lớp 10.000: Số lượng các hạt lớn hơn hoặc bằng 0,5 μm trong mỗi feet khối không khí không vượt quá 10.000. Điều này phổ biến trong các ngành công nghiệp như sản xuất linh kiện điện tử và chế biến thực phẩm.
Loại 100.000: Số lượng hạt lớn hơn hoặc bằng 0,5 μm trong mỗi feet khối không khí không vượt quá 100.000. Có thể sử dụng cho sản xuất thiết bị điện tử thông thường, sản xuất sản phẩm hóa học nói chung, v.v.
Ngoài ra, có một số công ty hoặc ngành công nghiệp đã xây dựng các phân loại không theo tiêu chuẩn dựa trên nhu cầu riêng của họ, chẳng hạn như nhà xưởng không bụi cấp độ 300.000, có mức độ sạch sẽ tương đối thấp và được sử dụng ở các khu vực sạch thông thường, chẳng hạn như hành lang cấp thấp.